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亚博提款到账速度超快:成本对比2DNAND讲述3DNAND的神话与现实

本文摘要:很多年至今,3DNAND依然全是半导体材料工业生产光刻(lithography)技术性的发展趋势驱动力,其印刷尺寸是超过的,并且保持大幅度升高。

很多年至今,3DNAND依然全是半导体材料工业生产光刻(lithography)技术性的发展趋势驱动力,其印刷尺寸是超过的,并且保持大幅度升高。伴随着3DNAND的规格扩大来到十几纳米技术节点(16nm、15nm乃至14nm),每一个模块也看起来十分小,促使每一个模块中仅有为数不多电子器件,而串扰难题又促使更进一步扩大看起来十分艰辛并且过度经济发展。伴随着3DNAND的难题更为多,业内刚开始偏重于三维NAND。

如今,大家因此以亲眼目睹着三维NAND的持续增长,三维位生产量已经高达3D位生产量。在本文中,大家将仔细研究三维NAND技术性,并不会对三维NAND和3DNAND的成本进行比较。

三维NAND工艺飞利浦和三星在三维NAND上的初期超前性工作中带来了几大关键的互相竞争的三维NAND技术性。飞利浦产品研发了一种称为BitCostScalable(BiCS)的工艺。BiCS工艺应用了一种再作栅极方式(gate-firstapproach),它是根据交叠堆积金属氧化物(SiO)层和光伏电池(pSi)层搭建的。

随后在这个层添充中组成一个地下隧道孔,并铺满金属氧化物-氮化合物-金属氧化物(ONO)和pSi。随后堆积光刻胶,根据一个到数的转印步骤,光刻胶整修并转印出有一个台阶,组成点到点。最终再作转印出有一个槽并铺满金属氧化物。如图所示1下图。

图1:BiCS工艺三星则产品研发了一种TerabitCellArrayTransistor(TCAT)工艺。TCAT是一种后栅极方式(gate-lastapproach),其堆积的是交叠的金属氧化物和氮化合物层。随后组成一个穿越重生这种层的地下隧道并铺满ONO和pSi。

随后与BiCS工艺类似组成台阶。最终,转印一个穿越重生这种层的槽并去除在其中的氮化合物,随后堆积三氧化二铝(AlO)、氮化钛(TiN)和钨(W)又对其进行回蚀(etchback),最终用坞铺满这一槽。如图2下图。

图2:TCAT工艺这二种工艺都能得到 正电荷圈套数据存储器(chargetrapmemorycell)。从前边的争辩和图上能够显出,这二种工艺的基础各有不同取决于BiCS用以了pSi字线的先栅极方式,而TCAT则用以W字线的后栅极方式。长期至今,业界都是有传闻讲到飞利浦保证不到合理地的BiCS,而飞利浦的生产制造一部分大部分便是复制的TCAT工艺,虽然飞利浦還是称之为BiCS。

intel-美光回首了一条类似BiCS的路,只不过是她们创设的是沉栅极(floatinggates)。资产成本很多人看过下边美光得到的图后都评价讲到三维NAND的资产成本比3DNAND低3到5倍。但这幅图传递的并不是这个意思!这幅图要想传递的是指3DNAND节点转换到三维NAND节点的成本是指3DNAND节点转换到一个新的3DNAND节点的成本的3到5倍。

图3:美光3DNAND到三维NAND的转换成本3DNAND是一种光刻核心的工艺,20nm下列的节点务必好几个四重图案设计流程。从一个节点挪动到下一个节点的驱动力关键来自于光刻专用工具的改进。当升級光刻专用工具时,一般来说可以用当今的专用工具新旧置换获得改进后的专用工具,进而降低转换成本。

而三维NAND则是用以的三维储存局部变量技术性需要的专业专用工具来进行堆积和转印。光刻技术性并不是三维NAND发展趋势的驱动力,在三维NAND工艺步骤中至少也只有一个双向图案设计流程。可是,其步骤中却有好几个低交叠比转印流程,在其中每一个芯片的转印時间达到30至一个小时!为了更好地更进一步探索它,大家来科学研究一下3D和三维NAND新创建芯片加工的资产市场的需求。

我的企业ICKnowledgeLLC产品研发了半导体业中运用于最广泛的成本建模软件。大家的发展战略成本实体模型(StrategicCostModel)能够为3D和三维NAND工艺得到详细的机器设备配置市场的需求。

在比较新创建芯片加工以前,图4得到了根据三星工艺的3D和三维NAND的转换成本。图4:3DNAND和三维NAND的转换成本从图4中我们可以看到,在特殊的工艺转换上面有类似图3的3到5倍的转换成本。可是,如果我们模拟仿真创设一家新创建3DNAND芯片加工的成本与一家新创建三维NAND芯片加工的成本,大家则不容易看到基本上各有不同的景色,三维的资产成本乃至比3D的资产成本还稍为较低一点!如图所示5下图。

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